微量氣體流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻(鉑RTD)，一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度,另一個(gè)溫度傳感器用于感應介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過(guò)傳感元件的熱傳遞量來(lái)計算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過(guò)傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。
 

　　微量氣體流量計在計量過(guò)程中影響準確性的因素。主要有以下幾個(gè)方面：
 

　　1、不合理的管道設計可能造成較大的計量誤差。兩條并聯(lián)的管道，當主管網(wǎng)用氣時(shí)，分管網(wǎng)手動(dòng)閥關(guān)閉。儀器計量正常，當分管網(wǎng)也用氣時(shí)，手動(dòng)閥打開(kāi)，由于主管道的氣體由分管道分流一部分，會(huì )使主管道內的氣壓下降，使得流量計表前的壓力小于表后的壓力，流量計反轉，流量計也累積流量，造成了雙倍計量。為避免這種情況必須在1號流量計前面安裝一個(gè)單向閥。
 

　　2、安裝方式正確有助于提高計量準確性和延長(cháng)使用壽命。安裝到管道上時(shí)，應保證儀器表體上的螺紋孔和管道法蘭的螺孔對準，保證法蘭的平行度，避免儀器承受其他外力，防止表體受力變形，使儀器卡死。開(kāi)啟時(shí)，應先打開(kāi)前閥門(mén)，然后緩慢打開(kāi)后閥門(mén)，使流量計有壓?jiǎn)?dòng)，避免由于氣錘效應，氣體把流量計轉子沖擊變形，造成流量計卡死。
 

　　3、高壓計量低壓用氣。就是將計量室安裝到高壓管道上，然后通過(guò)調壓器調壓，用氣戶(hù)在低壓管道上用氣，當低壓管道的用氣戶(hù)用氣量不大時(shí)，根據氣體狀態(tài)方程，在溫度相差不多時(shí)，低壓管道的小流量反算到高壓管道流量會(huì )更小，甚至這個(gè)流量達不到流量計的始動(dòng)流量。流量計不計數。所以會(huì )引起較大的計量誤差。